Før en tilskuddsordning kan opprettes, skal departementet utforme hovedelementene i ordningen og presentere dem for Stortinget.
Stortingets vedtak blir førende for ordningen. Departementet skal så fastsette regelverk for ordningen og har ansvar for å organisere tilskuddsforvaltningen slik at den er effektiv og hensiktsmessig.

I tildelingskriterier spesifiseres hvem som kan få tilskudd, hva tilskuddet kan brukes til og hvordan tilskuddsbeløpet skal fastsettes.

For å kunne følge med om målet med tilskuddsordningen nås, skal det utarbeides kriterier for måloppnåelse. Andre ord som ofte brukes for kriterier for måloppnåelse er indikator eller styringsparameter.

Mål og målgruppe for tilskuddsordningen må beskrives for å tydeliggjøre ønsket tilstand og treffe de som tiltaket skal ha effekt for.

En evalueringsprosess består i grove trekk av fire faser, regnet fra beslutningen om å gjennomføre evalueringen.

Departementet og tilskuddsforvalteren kan velge ulike tilnærminger til evaluering med tanke på hvilke ordninger som skal evalueres og når. Evalueringen kan foregå før, underveis eller etter avslutning av en ordning.

Vurderingen av rapportene starter gjerne med en kontrollere av de formelle kravene til rapportene er oppfylt. Deretter vurderes informasjonen om hva tilskuddsbeløpet er brukt til og at det samsvarer med søknaden og vilkår i tilskuddsbrevet.

Tilskuddsforvalteren rapporterer til overordnet departement om tilskuddsforvaltningen både i årsrapporten og i budsjettprosessen. Departementet rapporterer videre til Stortinget om oppnådde resultater for tilskuddsordningene.

Behandlingen av søknadene starter gjerne med en kontroll av om de formelle kravene til søknaden er oppfylt. Kontrollen kan føre til at søknader avvises og ikke behandles videre. Deretter vurderes og prioriteres søknadene som grunnlag for vedtak om tildeling av tilskudd.

Når utfallet av søknadsbehandlinger er at søker får innvilget tilskudd, skal dette formidles søker i et tilskuddsbrev. Både forvaltningsloven og bestemmelsene om økonomistyring i staten stiller krav til innholdet i tilskuddsbrevet.